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紫外线消毒其实比氯消毒要早。1909-1910年，Henri、Helhronner和Recklinghausen在法国的凡赛水厂成功实验了第一套紫外线消毒设备。实验规模为25m3/h过滤水，电耗为52.8W•h/m3。1910年，紫外线首次在美国被Cernovedeow和Henvi运用于饮用水消毒杀菌实验。随着低压汞灯的出现，紫外线消毒也被应用到其它工业用水领域，比如说医药、食品和饮料制造业。
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